北方華創PVD設備客戶端快速裝機

日前，北方華創微電子氮化鈦硬掩膜（HardMaskTiN PVD）設備在國內領軍集成電路芯片制造企業生產線上完成14天快速裝機。

2017年以來，中國集成電路產業持續高速增長，制造產能嚴重不足的問題越來越嚴重的困擾著領軍集成電路代工廠。北方華創深諳客戶需求，以關鍵設備HardMask TiN PVD的14天快速安裝，給客戶爭取寶貴生產調試時間。設備安裝期間，客服中心協調資源，安排工程師24小時不間斷工作，突破了國際廠商同類設備22天的平均裝機時間，創造了該設備最快速裝機的世界紀錄。為此，客戶特別授予北方華創HardMask TiN 客戶團隊杰出貢獻獎。這是客戶對北方華創產品和服務的充分肯定，也是北方華創以客戶為中心價值理念的踐行成果。

exiTin H430 氮化鈦硬掩膜PVD系統，是北方華創自主開發的面向28-14nm大馬士革工藝中硬掩膜層沉積工藝所使用的物理氣相沉積設備。設備憑借其優異的工藝性能、量產能力和極具競爭力的CoO，被大陸領軍集成電路芯片制造企業指定為28nm制程Baseline機臺，并榮獲北京市科學技術三等獎、第十屆中國半導體創新產品和技術項目獎等多項榮譽。目前該產品已進入國際供應鏈體系，推動了國產高端裝備的市場化進程。

PVD設備客戶端14天快速裝機，體現的是北方華創堅持客戶利益至上，以為客戶創造價值為己任的服務理念；14天快速裝機，展示的是北方華創客服工程師兢兢業業，不辭辛苦，高效過硬的技術實力；14天快速裝機，呈現的是北方華創客服團隊與客戶心心相系，密切配合，共迎挑戰的協作精神。