發布時間：2018-03-23 09:44
首屆“集成電路產業鏈協同創新發展成果交流會暨2018年集成電路產業技術創新戰略聯盟大會”于3月1日在北京召開，會議由集成電路產業技術創新戰略聯盟組織，會議進行了集成電路產業發展戰略，以及集成電路產業鏈協同創新發展成果交流。北方華創“12英寸鋁濺射設備”榮獲“技術創新獎”。
12英寸鋁濺射設備（Al Pad PVD）設備是由北方華創自主開發的集成電路領域的高端PVD設備，適用于90至14納米技術節點的Bond Pad和Al Interconnect工藝。該設備突破了大產能傳輸平臺、高溫靜電卡盤、先進磁控濺射源等一系列關鍵技術，解決了厚鋁粘片、晶須缺陷等世界性技術難題，填補了國內技術空白，技術指標達到國際先進水平。產品已經廣泛應用于邏輯、存儲和顯示等領域。
北方華創是國內唯一的集成電路高端PVD制造廠商，產品已經進入中芯國際、武漢新芯、上海華力等集成電路生產線，部分型號產品實現出口。