北方華創兩項產品榮獲“第十二屆中國半導體創新產品和技術項目”獎

4月12日，在南京召開的“2018中國半導體市場年會暨第七屆集成電路產業創新大會”上，北方華創自主創新產品硅外延APCVD設備和US700流量計分別榮獲“第十二屆（2017年度）中國半導體創新產品和技術項目”獎。

硅外延APCVD設備應用于功率半導體和集成電路領域，兼容6吋和8吋硅外延片的生產，適用于厚度5-130um范圍的N型和P型外延工藝，具有成膜均勻性好、產能高、兼容性好、自動化程度高、占地面積小等優點。

US700氣體質量流量控制器是最新研制的數字產品，具有控制精度高、低工作壓差等特性，適用于半導體離子注入工藝及其他相關集成電路制造工藝。

“中國半導體創新產品和技術項目”獎旨在鼓勵半導體產業界的科技創新活動，評選活動由中國半導體行業協會、中國電子材料行業協會、中國電子專用設備工業協會和中國電子報社共同組織。北方華創榮獲這項獎勵，充分展示企業的技術創新實力和專業領域作出的突出成就。