北方華創第100臺氮化鋁PVD設備順利交付

日前，北方華創第100臺AlN PVD設備順利出貨，發運客戶生產線。

NAURA AlN PVD設備，是繼ELEDETM系列刻蝕機、EPEE系列PECVD設備之后，北方華創在LED領域第三個突破百臺大關的單系列產品，它不僅是中國自主知識產權高端裝備打破國際大廠技術壟斷、實現與國際同行同時發布的創新見證，更彰顯了LED高端裝備制造的中國實力。如今，100臺的出貨交付，是其市場認證最有效的名片，是其工藝性能更有競爭力的佐證，更預示著其未來市場更多的機會，更多的100臺。

NAURA iTops A230系列AlN PVD是應用于GaN基LED制程的薄膜緩沖層沉積設備，其可提高緩沖層與GaN外延層的晶格匹配度，提高LED產品的輸出效率；拓寬MOCVD設備的工藝窗口，使產品的ESD測試通過率大幅提高；降低MOCVD的外延生長時間，提高產能，使整線的生產成本降低。自發布以來，NAURA AlN產品先聲奪人，憑借其優異的工藝性能、技術穩定性和極具競爭力的CoO，在LED市場收獲超高占有率和客戶認可度，成為產業當之無愧的明星產品。