北方華創主導編寫的負壓擴散爐SEMI光伏標準發布

“SEMI中國光伏標準技術委員會2018年度春季會議”日前在上海召開，北方華創作為SEMI中國光伏標準技術委員會的核心委員單位參加了會議。

本次會議上，北方華創主導編寫的SEMI標準《Guide for Specifying Low Pressure Horizontal Diffusion Furnace》（SEMI標準號：SEMI PV 81-0318，中文名：用于規范負壓臥式擴散爐的指南）正式發布，SEMI中國光伏標準技術委員會主席張光春先生為北方華創頒發了《SEMI標準發布證書》《SEMI標準出版證書》。該標準于2015年3月由北方華創牽頭組織編寫，期間經過多輪討論與完善，于2017年10月SEMI光伏標準秋季會議上通過最后一輪全球投票，在完成SEMI標準最后的Audit & Review流程審核后向全球發布。

SEMI中國光伏標準技術委員會成立于2011年12月，截至目前，已發布了25項SEMI國際產業標準，另有18項標準正在制定中，SEMI中國“光標委”已經成為全球最大最活躍的標準委員會。

北方華創一直積極參與SEMI標準的制定，到目前為止，共參與制定SEMI半導體標準3項、SEMI光伏標準2項，代表國內企業積極在全球半導體及光伏行業發出中國聲音。

負壓擴散爐SEMI標準參編單位包括晶澳、阿特斯、天合等下游電池和組件企業，以及相關的設備企業。負壓擴散爐SEMI標準的發布，說明中國光伏生產設備相關指標達到國際先進水平，具備全球標準的制定能力。北方華創是國內領先的半導體設備制造企業，利用集成電路設備技術的延伸應用，大力發展與提升光伏、LED等泛半導體設備，成為高端設備的代表企業之一，其中負壓擴散爐、LED刻蝕機、LED PVD技術指標及工藝性能處于國際領先水平，可替代進口產品，成為下游用戶的主要供應商。