七星流量計榮獲第三屆“IC創新獎”

5月16日，2020集成電路產業鏈協同創新發展交流會在北京和上海兩大主會場舉行，會上頒發了第三屆集成電路產業技術創新獎（IC創新獎），以鼓勵集成電路技術創新、成果產業化、產業鏈上下游合作。北京七星華創流量計有限公司研制的“CS300壓力不敏感氣體質量流量控制器”獲得技術創新獎。

“CS300壓力不敏感熱式氣體質量流量控制器”采用全金屬密封的結構、熱式傳感器測量技術及壓力補償算法，可以精準地對被控氣體進行測量與控制，以滿足半導體產業的需要，在半導體和集成電路工藝等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。該產品各項技術指標達到國外同類產品的技術水平，填補了國內在該技術領域的空白，現已經在大規模集成電路行業實現批量應用。該產品是七星流量計技術團隊為滿足客戶的工藝需求，精心鉆研、刻苦研發而成的，他們從產品的設計結構、測控算法等方面入手，經過無數次假設論證、推翻重設，并對產品原材料進行了嚴苛篩選，對每個部件進行了精心測試。

多年來，七星流量計始終致力于推動我國集成電路核心部件的國產化，專注于氣體流量測控技術研發，為集成電路設備企業提供高精度高穩定的優質氣體流量測控產品，目前已經推出30多種產品，累計銷售超35萬臺，為半導體、燃料電池、太陽能、真空鍍膜、分析儀器等行業客戶提供定制化氣體測控解決方案及產品維護服務。